梯度气锁气流从压力高处通过气锁室流向压力低处。用于不同洁净区之间或洁净区与非洁净区之间的隔离。作用：保护产品不被外界污染
2023-12-01设备B卷
梯度气锁气流从压力高处通过气锁室流向压力低处。用于不同洁净区之间或洁净区与非洁净区之间的隔离。作用：保护产品不被外界污染
A.正确
B.错误
正确答案是A
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